UPSS1.0 超精密多轴纳米级气浮运动台

半导体设备高精度扫描和定位应用场景的理想选择

• X, Y, Z, Rz 四轴运动台
• 具有主动力消除和主动调平的隔振系统
• 适用百级洁净度需求

X&Y 定位系统

X&Y定位系统包含一个龙门式X&Y工作台，用于远程位移和偏航可控性，实现精细的正交性调整。基于系统级的静动态结构设计和无摩擦气浮轴承，以及苏科思自研的sMA-RT控制技术，实现了优越的静动态性能的同时，具有快速响应和低速脉冲的优势。

Z&Rz 定位系统

为适应客户设备精密布局要求，Z&Rz定位系统设计紧凑。Z轴结合苏科思自研的sMA-RT控制技术，可实现高精度的Z向实时定位。Rz轴基于高旋转分辨率，及刚性制动系统有效消除旋转共振，实现精准定位，刚性制动系统消除旋转共振。

主动隔振系统

除了隔振系统，UPSS 1.0系统还提供了内驱力消除、主动调平功能，可实现高水平的动态响应。采用主动隔振系统后，主动隔振系统的配备使沉降时间提高80%以上。

SAXCS 控制系统

SAXCS控制平台可根据客户需求提供定制化的控制解决方案。苏科思控制系统专家可以定制核心控制算法，以满足客户应用的任何挑战。基于模型的开发，以及与COTS的高兼容性，确保了快速上市的同时，也保证了解决方案的可靠性。

应用领域

UPSS 1.0系统是半导体设备高精度扫描和定位应用场景的理想选择，如晶圆检测、晶圆测量、光学和平板显示制造。

参数 | XY 轴工作台

参数 | Z&Rz 轴工作台