先进封装光刻机

客户的挑战

用于先进封装技术的光刻与用于前端晶片加工的光刻不同，涉及的要求比较特殊而且多样，并且抗蚀剂薄膜也有不同的厚度。 Kulicke & Soffa 开发出了 Liteq 500 设备，这款步进式光刻机可以灵活有效地应对所有变化和满足特定需求。

苏科思的贡献

苏科思设计、部署并测试了 Liteq 500 的整套软件栈，其中包括：

• 用户界面
• 所有设备的控制软件，包括：工件台、ＣＣＤ 相机、照明系统、光束稳定器、空间像传感器和掩模传输系统
• 曝光视场、硅片传输和硅片对准、掩模传输，执行投影物镜和ＣＣＤ相机相关测量及测量系统的数学算法
• 使用 ＡＳＤ 对控制软件进行正式验证
• 测量单元和照明控制单元的固件

成果

第一台光刻机样品测试成功，目前机器已在市场上售卖。

所用技术

Windows 8, Microsoft .NET 4.5, WCF, C#, 64 bit, ASD, 苏科思 ESP, STM32 和 C++.

库力索法是一家为先进封装市场开发专用光刻解决方案的公司。 Ｋ＆Ｓ Ｌｉｔｅｑ 提供的创新且经济高效的晶圆步进
器，填补了当前和未来的市场需求。